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MEMS 振鏡

微型，高性能，電磁驅(qū)動的二維激光掃描MEMS振鏡

S13124-01是電磁驅(qū)動振鏡，結(jié)合了我們獨特的MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)。 通過將磁鐵布置在振鏡下方，可以使設(shè)備占地空間更小。 振鏡周圍的線圈中流動的電流根據(jù)弗萊明定律驅(qū)動振鏡產(chǎn)生洛倫茲力。 濱松MEMS反射振鏡具有大的光學偏轉(zhuǎn)角和高反射鏡反射率。

產(chǎn)品特點
· 線陣模式下進行二維掃描 能夠進行矢量掃描和step operation
· 小型緊湊
· 低電壓驅(qū)動：適合安裝在設(shè)備上
· 帶有光窗：防止異物污染
· 提供評估電路：C15087（另售）
典型應(yīng)用
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產(chǎn)品介紹

微型，高性能，電磁驅(qū)動的二維激光掃描MEMS振鏡

S13124-01是電磁驅(qū)動振鏡，結(jié)合了我們獨特的MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)。 通過將磁鐵布置在振鏡下方，可以使設(shè)備占地空間更小。 振鏡周圍的線圈中流動的電流根據(jù)弗萊明定律驅(qū)動振鏡產(chǎn)生洛倫茲力。 濱松MEMS反射振鏡具有大的光學偏轉(zhuǎn)角和高反射鏡反射率。


產(chǎn)品型號及主要指標
類型 For 2-dimensional scan
掃描模式 2-axis linear scan
運行模式 First axis: Linear mode Second axis: Linear mode
振鏡尺寸 φ1.95 mm
振鏡材料 Aluminium
光學偏轉(zhuǎn)角 First axis: ±10° Second axis: ±10 °
驅(qū)動頻率（最大值） First axis: 90 Hz Second axis: 90 Hz
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